ƯÈ÷ 2009³â ±³À°°úÇбâ¼úºÎ °í°¡¿¬±¸Àåºñ±¸Ãà»ç¾÷ °ø¸ð»ç¾÷À¸·Î ½ÃÀÛµÈ ¿ÏÁÖ °í¿ÂÇöóÁÀÀ¿ë¿¬±¸¼¾ÅÍ ±¸Ãà»ç¾÷Àº ÃÑ»ç¾÷ºñ 392.5¾ï(±³°úºÎ 296¾ï, Àü¶óºÏµµ 30¾ï, ¿ÏÁÖ±º 46.5¾ï, ÀüºÏ´ë 20¾ï)À» ÅõÀÔÇÏ¿© ±¹³» ÃÖÃÊ·Î ¼±Áø±¹ ¼öÁØÀÇ °í¿ÂÇöóÁ Àåºñ ±¸ÃàÀ» ÃßÁøÇÏ°í ÀÖ´Ù. ÀÛ³â 12¿ù ¿Ï°øÇÑ °í¿ÂÇöóÁÀÀ¿ë¿¬±¸¼¾ÅÍ´Â Á¤º¸±â¼ú(IT), ȯ°æ±â¼ú(ET), ³ª³ë±â¼ú(NT), ÀÚµ¿Â÷, ¿¡³ÊÁö, Ç×°ø¤ý¿ìÁÖ ºÐ¾ß µî ¹Ì·¡ »ê¾÷ÀÇ ¹ßÀü¿¡ ÇʼöÀûÀÎ ÇöóÁ ±â¼úÀ» ¿¬±¸ÇÏ´Â °÷À¸·Î 2014³â±îÁö ±¸Ãà ¿Ï·á ¿¹Á¤ÀÎ 200kW±Þ RF °í¿ÂÇöóÁ ¹× 2.4 MW±Þ ÃÊÀ½¼Ó °í¿ÂÇöóÁ ¹ß»ýÀåÄ¡ÀÇ °æ¿ì, ±¹³»¿¡¼´Â ÃÖÃÊÀÌÀÚ ¼¼°è¿¡¼´Â 5¹ø°·Î ¸¸µé¾îÁö´Â ½Ã¼³ÀÌ´Ù. 0.4§Ó․2.4§Ó ÃÊÀ½¼Ó °í¿Â ÇöóÁ ¹ß»ýÀåÄ¡´Â ź¼Ò-ź¼Ò º¹ÇÕü, ź¼Ò-SiC º¹ÇÕü µî °í³»¿, °í°µµ ±â´É¼º ¼ÒÀç ¿øõ±â¼ú ¿¬±¸¿¡ È°¿ëµÇ°í, 60§Ò․ 200§Ò RF ¼ÒÀç°øÁ¤½Ã¼³Àº ÈñÀ¯±Ý¼Ó Á¤·Ã, Àú°¨ ¹× ´ëü ±â¼ú°³¹ß, ³ª³ëÀü±ØÀç·á, Çü±¤Ã¼, ³ª³ëÀ¯¸®ºÐ¸» µî ±âÃÊ ¼ÒÀç ¹× Ã·´Ü ÀüÀÚÀç·á¿ë ºÎÇ°¼ÒÀç °³¹ß¿¡ È°¿ëµÉ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. °í¿ÂÇöóÁ ¹ß»ýÀåÄ¡´Â °í¿Â¤ý°í¿·Î Àç·á¸¦ ¿ëÀ¶(°íü »óÅ ¹°ÁúÀÌ ¿¡³ÊÁö¸¦ Èí¼öÇØ ¾×ü·Î º¯ÇÏ´Â °Í)․±âȽÃÅ°°í À̸¦ ÅëÇØ ³ª³ë¼ÒÀç µî ÷´Ü ½Å¹°ÁúÀ» ÇÕ¼ºÇÏ´Â ¼ÒÀç°øÁ¤ ÀåÄ¡ÀÌÀÚ »ó¿Â¿¡¼´Â ±¸ÇöÇϱâ Èûµç ¹°¸®, ÈÇÐÀû ¹ÝÀÀÀ» ÀÏÀ¸Å³ ¼ö ÀÖ´Â °í¿Â ÈÇÐ ¹ÝÀÀ·ÎÀÌ´Ù. ƯÈ÷, 5,000 ~ 20,000 ¡É¿¡ À̸£´Â ³ôÀº ¿Âµµ¿Í ¸¶ÇÏ 2 ÀÌ»óÀÇ ÃÊÀ½¼Ó ÇöóÁ¸¦ ¿øÇÏ´Â ´ë·Î ¹ß»ý½ÃÅ°°í Á¦¾îÇÏ´Â ±â¼úÀº ¿øÀÚ·Â, ÇÙÀ¶ÇÕ »ê¾÷ µî ¹Ì·¡ ¿¡³ÊÁö »ê¾÷À̳ª ÷´Ü ¿ìÁÖ °øÇÐ ¹× ±¹°¡¾Èº¸ ºÐ¾ß¿¡¼ ÇʼöÀûÀÎ °í³»¿, °í°µµ ±â´É¼º ¼ÒÀç ºÎÇ° °³¹ß¿¡ ¹Ýµå½Ã ÇÊ¿äÇÑ ±â¼ú·Î¼ ¿ì¸®³ª¶ó°¡ ¹Ì·¡ ¼ÒÀç ¼±Áø±¹ÀÌ µÇ±â À§ÇØ ²À È®º¸ÇØ¾ß ÇÏ´Â ±â¹Ý ±â¼ú¿¡ ÇØ´çÇÑ´Ù. ¿Ã 6¿ùºÎÅÍ´Â ±â ±¸ÃàµÈ Àåºñ 3Á¾(60§Ò․200§Ò RFÀåºñ, 0.4§ÓDCÀåºñ)À» È°¿ëÇÏ¿© ±¹¹æ ºÐ¾ß, ¿ìÁÖÇ×°ø ½Å¼ÒÀç ¹× ¿øõºÎÇ° ¼ÒÀçÀÇ ½ÇÁõ ¹× ½Ã¹Ä·¹À̼ǰú ÇöóÁ¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ ½Å¼ÒÀç °³¹ß°ú Å×½ºÆ®¸¦ ½ÃÇàÇϸç ÇöóÁ ¿¬±¸¿Í »ê¾÷ÈÀÇ ±â¹ÝÀ» ¸¶·ÃÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. ¶ÇÇÑ, »ê¾÷ü¿¡¼ ¿øõ¼ÒÀç °³¹ßÀ» ÅëÇÑ ±â¼ú°æÀï·Â È®º¸¿¡ ÇʼöÀûÀÎ ±¹³» ÃÖ´ë ÇöóÁ Àåºñ¸¦ ±¸ÃàÇØ º¹ÇÕ¼ÒÀç ºÐ¾ß¿Í ¿¬°è, Áö¿ª ¹ßÀü¿¡µµ ÈûÀ» º¸ÅÅ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÈ´Ù. ÇöóÁ ±â¼úÀº ÃÖ÷´Ü À¶ÇÕ±â¼ú·Î Àü¶óºÏµµ¿¡¼ Àü·«»ê¾÷À¸·Î À°¼ºÇÏ°í Àִ ž籤»ê¾÷, ½ÅÀç»ý¿¡³ÊÁö»ê¾÷, ź¼Ò»ê¾÷, ³ó±â°è»ê¾÷, ȯ°æ»ê¾÷ µîÀÇ ºÐ¾ß¿¡¼ ÇÊ¿ä·Î ÇÏ´Â ´Ù¾çÇÑ ¼ÒÀç¿ÍÀÇ À¶ÇÕÀ» ÅëÇØ Áö¿ª ±â¾÷ µµ¾àÀÇ ¹Ø°Å¸§Àº ¹°·Ð, ¸·´ëÇÑ ½Ã³ÊÁöÈ¿°ú¸¦ âÃâÇÒ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, 2014³â±îÁö µµ³» ½Å±â¼úÀ» È°¿ëÇÑ 20°³ ÀÌ»óÀÇ °ü·Ã ±â¾÷À» À¯Ä¡ÇÏ°í â¾÷, ¿¬±¸°³¹ß Àη µî 1õ¸í ÀÌ»óÀÇ °í¿ëâÃâÀ» ¸ñÇ¥·Î ÇÏ°í ÀÖ´Ù. ƯÈ÷ ¿ÏÁÖÀÇ °í¿ÂÇöóÁ¿¬±¸¼¾ÅÍ¿Í ¿Ã 7¿ù ¿Ï°ø ¿¹Á¤ÀÎ ±º»ê À¶․º¹ÇÕÇöóÁ¿¬±¸¼¾ÅÍ°£ »óÈ£ º¸¿ÏÀûÀÎ ¿¬±¸°³¹ßÀ» ÅëÇØ ±¹³» ÃÖ°í, À¯ÀÏÀÇ ÇöóÁ ÀÀ¿ë»ê¾÷ Çãºê·Î ÀÚ¸® ÀâÀ» °ÍÀ¸·Î ±â´ëÇÏ°í ÀÖ´Ù°í ÀüÇß´Ù. ÀÌÁ¤¼÷ ±âÀÚ z3321z@nate.com ÀÌÁ¤¼÷ ±âÀÚÀÇ ´Ù¸¥ ±â»ç º¸±â |
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