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LCDㆍ반도체 생산라인 운송시스템에 일대 혁신이 예고된다.

산업자원부는 반도체 및 평판디스플레이 운송에 쓰일 획기적 신기술 ‘고효율 선형(線形)전동기 및 비접촉 전력공급 기술’이 한국전기연구원 임근희 박사팀에 의해 세계 최초로 개발ㆍ상용화에 성공했다고 25일 밝혔다.

한국전기연구원에 따르면 반도체와 평판디스플레이(FPD) 등 클린룸 생산라인 운송시스템에 적용되는 이 기술은, 기존 케이블 방식에 비해 소음과 먼지가 거의 없어 생산수율을 극대화할 수 있다.

또 30% 이상의 전기에너지를 절약, 연간 200억원 이상 비용 절감이 기대된다. 아울러 차세대 선형전동기 응용시스템 등 각종 운송장비에 적용될 수 있어 이들 장비가 조기에 국산화될 경우 수입 대체가 가능, 관련 업계의 관심을 끌 전망이다.

임근희 박사팀은 '영구자석 여자(勵磁) 횡자속(橫磁束) 선형 전동기‘ 등 이번 기술개발 관련 국내ㆍ외 특허 20여건을 등록했거나 출원중이라고 밝혔다. 또, 국내ㆍ외 학술지에 100여편의 논문을 게재, 우수성을 입증 받았다고 밝혔다.

산자부·에너지관리공단, 2004년부터 130억 연구비 지원

이번 기술 개발은 산자부ㆍ에너지관리공단이 2004년부터 4년간 130여억원의 연구비를 투입ㆍ진행중인 ‘차세대 선형 전동기 응용시스템 기술 사업’의 일환으로 이루어졌다. 연구팀은 이 사업을 통해 반도체·LCD·PDP 등 클린룸 생산라인 운송장비의 에너지 절감ㆍ高청정화를 위한 첨단핵심기술을 개발하고 있다.

임 박사팀이 개발하고 있는 주요 핵심기술은 ‘고출력 횡자속형 선형전동기 기술’과 ‘비접촉식 전력공급장치 기술’이며, 한국전기연구원을 주관기관으로, (주)신성이엔지ㆍ(주)그린파워ㆍ(주)동부정밀화학ㆍ(주)SBC리니어 등 4개기업이 공동 참여하고 있다.

지난 해 10월 개발에 성공한 '고출력 고효율 횡자속형 선형전동기 운송장치'는 반도체ㆍLCDㆍPDP 등 클린룸 생산라인에 사용되고 있는 기존 운송장치의 문제점을 획기적으로 개선한 것으로 국내 반도체ㆍLCDㆍPDP 제조업체 클린룸 생산라인에 설치·가동시 10% 이상의 전기에너지 절감효과가 있는 것으로 평가 받고 있다.

또 지난 해 8월 개발된 '고효율 고성능 비접촉 전력공급장치'는 반도체 생산라인 운송장비에 움직이는 전선 없이 전력을 공급할 수 있는 장치로 기존 외국제품에 비해 전력 소모량이 30% 이상 낮아 연간 200억원의 운영비 절감이 기대된다.

고출력 고효율 횡자속형 선형전동기 운송장치와 고효율 고성능 비접촉 전력공급장치는 이미 (주)신성이엔지와 (주)그린파워에서 LCD 운송장비시스템(200N급, 무게:200kg, 가속도:1m/s2, 길이 1km)에 적용, 상용화했다.

특히 이 제품은 크기와 성능, 가격 등에서 우수한 경쟁력을 확보한 것으로 평가받고 있으며, 국내 LCD 생산 기업에 납품ㆍ가동되고 있다.

기술 개발ㆍ상용화에 성공한 신성이엔지와 그린파워는 올해 이 제품을 통해 약 200억원의 매출을 예상하고 있다. 또, 향후 5년간 국내 대기업 및 중국ㆍ대만 등 해외 업체에 대한 납품 등으로 약 1500억원의 매출 신장이 기대된다고 밝혔다.

산자부 최규종 에너지기술팀장은 “반도체ㆍLCDㆍPDP 등 클린룸 생산라인의 경우, 각종 운송장비의 청정도 유지가 품질향상 및 원가절감에 직결된다”며 “세계 최초 신기술 개발 및 상용화로 LCD 및 반도체 생산라인 청정도 향상은 물론 에너지 절감도 기대돼 IT산업 경쟁력 확보에 크게 기여할 것”이라고 평가했다.

문의 : 한국전기연구원 임근희 선임연구부장(055-280-1450, 011-568-4400)