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반도체와 디스플레이 장비. 재료 분야의 차세대 기술개발을 위한 광주 나노기술집적센터(이하 나노센터)가 포항센터에 이어 서비스를 시작한다.

산업자원부와 한국생산기술연구원은 4일 ‘광주 나노기술집적센터 개소식’을 열었다.

산자부가 광주와 포항, 전북 3곳에 구축하고 있는 나노센터는 반도체, 디스플레이 장비·재료의 ‘차세대 신기술 개발 → 상용화 → 성능평가·표준화’를 패키지로 지원하는 핵심 나노기술 인프라 역할을 담당하게 된다.

이번에 문을 여는 광주센터도 반도체·디스플레이 분야에 필요한 나노 장비와 공정을 연구개발부터 산업화 단계까지 지원하는 핵심연구 기반 역할을 하게 된다. 특히 반도체·디스플레이 관련 나노 박막/확산 공정기술과 장비개발에 주력하여 현재 20~30% 대에 머물러 있는 반도체·디스플레이 장비분야 국산화율을 2015년 50%로 끌어올리는데 크게 기여할 전망이다.

또 나노센터는 이번 달부터 시작되는 ‘장비·재료 원천기술 상용화 사업’과 연계하여 장비·재료기업에서 개발한 차세대 원천기술의 상용화를 지원하게 된다.

광주센터는 우선 2개 장비제조기업과 공동으로 차세대 태양전지 제작을 위한 증착장비인 CVD 장비개발과 광부품 제작을 위한 BPSG(Boron Phosphorus Silicate Glass)용 CVD 공정 개발을 추진할 계획이다.

나노센터는 국산 장비·재료에 대한 기초 성능평가 및 인증과 중장기 표준화 사업도 추진한다.

산자부 반도체디스플레이팀 차동형 팀장은 “광주센터가 지난해 반도체·디스플레이 업계가 합의한 3대 상생과제인 원천기술상용화사업, 평가팹, 수급기업펀드, 그리고 올해 새로 시작한 디스플레이 분야 대기업 간 협력을 기술적으로 실현할 ‘R&D 분야 상생협력의 장‘이 될 것으로 기대한다”고 밝혔다.

광주센터 개소식과 병행하여 이날 차세대 디스플레이 전략기술과 대기업 및 장비제조업계 간 상생협력 방안을 모색하기 위해 대기업, 장비업계, 학계가 참여하는 차세대 디스플레이 포럼도 열렸다.

<나노기술집적센터 개요>

◆센터현황 : 광주(한국생산기술연구원), 포항(포스텍), 전북(전자부품연구원) ▶특화분야 : 광주·전북(장비·공정), 포항(소재·재료) ▶구축기간 : 2004년 - 2008년 (5년간) ▶총사업비 : 2648억원 (정부 900억원, 민간 1748억원)

◆용어풀이 : ▶CVD (Chemical Vapor Deposition) 반도체/디스플레이 소자 제조공정에서 기판 위에 산화막, 질화막 등의 박막을 형성하는 장비. ▶BPSG (Boron Phosphorus Silicate Glass) 산화막에 붕소나 인을 첨가하여 저온에서 평탄화가 가능한 박막물질로 얇은 접합이 요구되는 고집적 소자의 공정에 이용